赵烨给这台光刻机设计的光刻机运动系统,是利用了杠杆原理来实现的。
毕竟现在这台机器还是几乎是纯手动,赵烨利用精密的丝杆,再带精密齿轮组,把底座的运动距离,放大了很多倍,这样才能实现光刻机外面设置的手轮, 转动一圈,底座按照设计位移两微米。这几乎是这个时代的极限了。
这样的手轮在光刻机的操作台上有七个,分别控制底座不同的运动路径。等到这套系统被安装完毕后,几个专家立即就进行测试。测试的工作比安装还要慢,等测试的工作完成后,整个地下室都响起了热烈的掌声。
“太不可思议了,太伟大了!这简直就是奇迹!”负责测量的人员,都猛烈的拍着巴掌,对这些高级技工, 报以热烈的掌声。
这些精密加工,都是赵烨这几个人,一点点的用手完成的。最后的移动精度,震惊了精密测量专业的专家。
要实现如此精密的位移,这一点儿都不简单。
掌声停止了,工作照常进行。
一些测量用的设备,一些被拆除了,还有一些被保留了下来。然后就轮到透镜组进行安装了。
赵烨还有几个过来支援的高级钳工,一步步,一点点的把整套系统安装完毕,整整用了一个星期,第一台设备才算是正式诞生并通过了检测。
众人无不激动的掉泪,这几乎就是国家精密仪器的代表之作!在此时此刻,它甚至可以说是全世界最精密的仪器之一都毫不过分。
众人激动过后,就是合影留念。唯一还没有露出笑容的, 只有一个泉教授。
“泉教授, 明天就是试生产了, 成败可就看你的灯泡了!”没等赵烨上前说话,慈教授就已经拉着泉教授说了这么一句话。搞的泉教授更加紧张了几分。
“争取一次通过,争取!”泉教授可不敢把话说的太满,说实话,他是真的心里没底的。
赵烨一见对方这么说,也就没有过去再说什么,人家已经这么紧张了,自己就不去给人施加压力了。
这个时候,无论你说什么安慰话,反馈到对方脑子里的,都是无形的压力。
赵烨从地下车间走出了,就去看硅锭的处理了。
此时的硅锭,已经从一开始的30mm直径,扩大到了50mm左右了。生产这个硅锭的是沪上一家工厂。他们在赵烨提供的一些资料的帮助下,成功做出了这种规格的硅锭。硅锭的纯净度虽然还有待提升,但是至少是能用的了,无非良品率低一些。
不过有赵烨这个bug在,少量的硅锭他还是能处理的。
赵烨在切割好的硅晶片上一阵寻摸, 一会儿拿起这个, 一会儿又拿起那个。外人以为他是观察切割的质量,可是没人知道,他是在处理晶圆。
总不能真的按照真是的成品率来吧?那也太折磨人了。这经过一下他的手,成品率一下就上来了。要是有人问为什么,那就是赶上了,巧合了,对方生产用心了。
还有一点,现在的晶圆直径还是很小,但赵烨他们的加工精度又远远不够,那么赵烨等人放弃了把晶圆切成一个矩形的思路,而是把芯片做成一个圆形。
可是圆形也有圆形的弊端,最主要的一个就是,无法分辨方向和位置。这在加工和使用的时候,非常的不方便。
赵烨于是就想了个办法,既然正圆不行,那就给它一刀好了。于是就有了现在的晶圆,每一片都确实了一个三十度的弧,就是把这整个截面的个扇形区域,变成一个三角形。
这样,却了一块儿的这边就是正上方,除此之外,为了定位的需要,在这个直边和他的下方,还开了三个不同形状的小缺口。这样一来让加工的各个环节都能清楚的知道这个晶圆的正反面和方向。
第二天吃过了早饭,浩浩荡荡的几十人都来到了地下车间,大家都想见证一下,第一块这么大规模的集成电路的产生。甚至**日报还派来了专门的摄影记者,一个摄像机和照相机,分别架在里光刻机的一边。
赵烨和马华一组,第一个开机试生产。照相机清楚的记录下赵烨拿起的第一块硅晶片。
既然是试生产,电路的设计其实并不是很复杂。不过为了验证一些技术,局部地方被设计的还是比较精细和复杂的。可即便是这样,这一组用来测试的三十块晶圆,还是用了整整一天的时间,才从这个车间走出去。
当第一块晶圆被简单封装起来后,立刻就被等在一旁的测试组,拿到了专门的检测仪器上。随着一阵的等待,大家就看着一块又一快的晶圆被放置了上去,所以人的心都提到了嗓子眼了。
“报告,测试样本一共三十块硅晶片电路板,其中二十块达到了要求,五块是由于硅晶圆的纯度问题失败了,五块是由于生产问题失败了。我们的成品率,达到了66.66%!我们成功啦!”
“哦!!!成功啦,成功啦!”所有人都鼓掌跳了起来,就连门口的战士们都兴奋不已,要不是有条例管着,估计他们都想朝天放几枪过过瘾了。
此时的摄像机一直都没停,那个摄像记者,虽然也非常的激动,但他还知道自己的职责,忠实的守在摄像机的后面,只是手有些抖,也幸好带了支架来,要不然那画面都不能看了。
光刻机在试生产以后,又进行了几天的调整。这才再次投入到了显示芯片的生产中。赵烨这次没有亲自上手,而是让马华还有其余的那些技工接手去操作了。他们生疏是肯定的,浪费材料也是肯定的,不过人都有一个熟练的过程,可赵烨不能每次都是自己来吧?培养人才,那就得拿材料和时间去堆!没有什么捷径可走。
光刻机的投产,给了设计组极大的鼓舞和压力。他们这边的设计工作还没有完成呢,可是生产组已经投产了,这岂不是成了战士拿着武器等弹药么?
这让这个设计组产生了极大的紧迫感,赵烨看在眼里,却是不怎么着急。因为完整的设计图此时已经躺在他的空间里了,甚至掩膜他都已经加工完了。
赵烨没有急着把东西拿出来,设计嘛,就是要逼一逼他们才好。
赵烨继续他的各组溜达,显示组的进展最快,这一方面是有赵烨成熟的设计方案,但更多的是支援单位却是牛!718厂还真不是盖的,从技术专家到高级技工,整体的层次都要比别的单位高一大截!
液晶填充的工艺已经被他们搞定了,现在正在集中力量进行玻璃板的电路蚀刻,这项技术如果他们能吃透,赵烨敢肯定,他们这个工厂,能活五十年没问题!因为这个技术,就是未来液晶技术的基础。未来他们有了这样的专利,什么也不干,都够他们开工资的。
今天没什么要紧的事儿,赵烨就想早点回家了,这段时间,他要么是早出晚归的,要么是一连几天不能回去。韩爸他们一家人过来,说是让赵烨跟她们多亲近些日子。可是他哪里有那么多的时间啊。
趁着今天事情少,他赶紧往家跑。不过不巧,今天丁秋楠带着几个孩子出去玩儿了,只有韩妈妈在家里。
“妈,您怎么没跟着去呀?”赵烨现在喊他们,已经很少带姓氏了。毕竟,对于韩爸韩妈他们,赵烨既尊敬又感动。这么长时间以来,他们真的给了他家人的温暖。
“京城我是呆过一段时间的,这里的东西都看过了,也就不想再去了。”韩妈妈没有说实话,赵烨也没在意。她的工作性质,决定了她不可能像正常人那么生活。
“烨子,我跟你商量个事情。本来想着找个时间去你那里的,今天正好你过来了,我想私下里先问问你的意见。”
赵烨就是一愣,私下里问问?这个应该怎么理解?
“您说吧,什么事儿还要问我的意见呢?”
“我的任务下来了,经过组织批准,这件事你可以有知情权。现在有个事儿,需要你的意见。”韩妈妈神情严肃了一点点,但也没有失去脸上的笑容。
“嗯!您说。”
“假如我们向外提供高质量的晶体管,会不会对我们自身产生危害?你是专业人士,我想听听你的想法。”
“哦!这个啊,我觉得不会有什么危害的。”赵烨先下了一个结论,这才继续说道:“首先这不是什么了不起的东西,我们现在的新工艺,只是提升了产品的质量和良品率,没有从根本上改变什么,所以,按照商人们的说法,我们这个产品只是性价比更好了罢了。”
“嗯,这个倒是。还有呢?”韩妈妈继续问道。
“还有就是这个事不但没有危害,反而对我们是一个促进,让我们依然保持提高的动力。无论是产品研发和生产,这都是没有止境的。只有一直保持进步,才能一直领先对手。”
韩妈妈点点头,这跟组织的想法大致相当。还有一点他们都没讲,就是这个东西的利润很好啊,我们出口这个东西,总比出口矿产要划算的多。几个集装箱过去赚到的外汇,甚至比一整船的矿产都多。
“那你觉得,你们那个计算器可以对外出口吗?”韩妈妈进一步问道。
第八十九章 第二代光刻机诞生
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